近日，科技部組織召開國家02專項（極大規模集成電路制造裝備及成套工藝）“國產集成電路裝備零部件量產應用工程”項目綜合績效評價會議。會議上，萬瑞公司承擔的超高真空冷泵研發及產業化課題任務正式通過驗收。

    萬瑞公司自2014年承擔國家02專項超高真空冷泵研發及產業化課題任務以來，歷時四年時間，通過持續的技術研發和大量的半導體工藝驗證，目前已成功開發出針對半導體行業應用的集成智能控制系統的一拖多低溫泵組，該產品在機械和電氣接口上和國外主流低溫泵可以完全替換使用。

    據萬瑞公司官方介紹，該設備不僅具備優異的極限真空和抽速特性，更是突破了半導體行業十分關注的工藝壓力穩定、本底壓力快速恢復、快速再生、一臺壓縮機拖多臺低溫泵等關鍵技術難點。

    相較于傳統行業應用，半導體集成電路行業應用對低溫真空泵提出了更高的要求，包括遠程智能控制系統、極高的溫度穩定性、工藝壓力穩定性、快速本底真空恢復、較大的混合氣體容量、高效再生等。

    2018年11月，科技部02專項辦組織了清華大學、中芯國際、中科信的多名專家成立了測試組，對萬瑞公司研制的集成電路用超高真空低溫泵進行了現場測試，測試結果表明產品整體技術狀態達到國外同類產品先進水平。產品可廣泛應用于半導體集成電路的PVD鍍膜設備和離子注入機設備。（校對/小北）